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應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

高性價(jià)比干涉式激光尺

干涉式激光尺摒棄了傳統(tǒng)激光干涉儀的分立光學(xué)器件結(jié)構(gòu)，將激光器、調(diào)制器、光電探測(cè)器和濾波器等眾多光學(xué)元件集成至單一光學(xué)芯片上，并與激光二極管、探測(cè)器陣列和光學(xué)透鏡結(jié)合，形成小型化的激光傳感模組。

高性價(jià)比干涉式激光尺特點(diǎn)

（1）可檢測(cè)進(jìn)給軸的機(jī)械運(yùn)動(dòng)誤差

（2）光模塊等核心部件設(shè)計(jì)使用壽命為10年

（3）密封膠條后期替換成本低，反射鏡結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定、可靠

（4）簡單的空腔結(jié)構(gòu)使其擁有優(yōu)異的抗污染能力

（5）完善的防護(hù)措施確保了高水平的抗電磁干擾能力

高性價(jià)比干涉式激光尺應(yīng)用

高性價(jià)比干涉式激光尺參數(shù)指標(biāo)

接口	精度	分辨率	時(shí)鐘輸出	移動(dòng)速度	參考點(diǎn)	其他
TTL	1ppm 2ppm 5ppm	5um	＜=80MHz	＜240m/min	默認(rèn)位于有效行程中間	1、可選485轉(zhuǎn)串口輸出，波特率961200，支持二次開發(fā) 2、自動(dòng)檢測(cè)異常數(shù)據(jù)并給出ERR到控制設(shè)備 3、內(nèi)置感器，用戶可配置材料補(bǔ)償系數(shù)
		1um
		0.5um
		0.1um
		0.05um		＜120m/min
		0.01um		＜24m/min
		0.005um		＜12m/min
		0.001um		＜2.4m/min
		0.0005um		＜1.2m/min
		0.0001um		＜0.24m/min
1VPP		信號(hào)周期	帶寬	細(xì)分倍數(shù)
		20um	500KHz	＜=1024
		4um
		0.5um
		0.1um
BISS-C		分辨率	時(shí)鐘	位寬	移動(dòng)速度
		0.001um	＜=10MHz	16bit~48bit （可定制）	＜240m/min
		0.01um
		0.1um
SSI		分辨率	時(shí)鐘
		0.001um	＜=10MHz
		0.01um
		0.1um

調(diào)頻示意圖

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